半導體芯片退火模溫機-中國PLC網

半導體芯片退火模溫機

	價格：28600 元(人民幣)	產地：江蘇昆山市
	最少起訂量：1臺	發貨地：本地至全國
	上架時間：2025-08-20 14:53:04	瀏覽量：41
	邁浦特機械（四川）有限公司
	經營模式：生產加工	公司類型：
	所屬行業：制冷設備	主要客戶：
	在線咨詢

聯系方式

聯系人:趙元圓（邁浦特機械） (小姐)	手機:18108129082
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郵箱:zhaoyuanyuan@maipt.ltd	地址:中國(四川）自由貿易試驗區成都高新區天府大道北段1700號N3區21樓2125邁浦特機械

詳細介紹

半導體芯片退火模溫機

郵：zhaoyuanyuan@maipt.ltd
支持非標定制，免費提供技術規格書、方案。
聯系：①⑧①零⑧①②⑨零⑧②

用途特點

專為半導體芯片退火工藝設計，控溫范圍覆蓋 45℃~180℃（其他溫度可定制），可精準匹配芯片退火過程中升溫、恒溫、降溫各階段的溫度需求。通過穩定控制退火爐模具溫度，確保芯片在高溫下實現晶格重組與應力釋放，避免因溫度不均導致的芯片開裂、電學性能異常等缺陷，提升芯片良率與可靠性，適配硅基芯片、化合物半導體等的退火處理場景。

核心優勢

高精度溫控保障退火質量

采用邁浦特定制 PLC 控制系統，9 組獨立 PID 溫區段控溫，基礎精度達 ±1℃（±0.1℃可選），支持進出口溫度相互切換控制。可根據退火工藝要求調節控溫速率（斜率 / 快速），精準控制升溫速率（如 5℃/min~20℃/min）與恒溫時長，確保芯片在 100℃~150℃關鍵退火區間的溫度穩定性。

高效加熱與循環能力

加熱功率 6~720kW 可調，采用直接加熱方式，搭配邁浦特定制耐溫油泵（耐溫 - 40℃~320℃），流量 6.5~250m?/h，揚程 28~100m，確保導熱油在高溫下循環高效，快速響應退火爐的瞬時溫度需求。全系統管路采用無縫氬弧焊接工藝，減少熱量損耗與泄漏風險，滿足半導體生產潔凈要求。

多重安全防護與智能操作

配備溫度異常自動斷電、泵浦超載保護、缺油報警、管路阻塞泄壓等 10 重安全裝置，高溫球閥耐溫達 230℃，通過 BY-PASS 泄壓回路保護泵浦。支持 100 組可編程工藝程序，7 寸觸摸屏實時顯示溫度曲線，數據可通過 USB 導出，便于追溯退火工藝參數。進出管徑可根據退火爐接口定制，適配不同生產規模需求。

技術參數（典型機型）

名稱	參數
控溫范圍	45℃~180℃
控溫精度	PID ±1℃（±0.1℃可選）
加熱功率	6~720kW
循環介質	導熱油
通訊方式	Modbus RS485（可定制其他協議）
電源	3N-380V-50Hz（可定制）