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【氣浮盤,chuck卡盤,CMP鋁材研磨盤HALAR,PFA涂層加工】
【氣浮盤,chuck卡盤,CMP鋁材研磨盤HALAR,PFA涂層加工】 價格:  元(人民幣) 產地:上海
最少起訂量:1 發貨地:浦東新區
上架時間:2024-08-28 09:30:17 瀏覽量:52
上海雍昌環?萍加邢薰  
經營模式:生產加工 公司類型:私營有限責任公司
所屬行業:代加工服務類 主要客戶:各類金屬制品廠家、軸承制造商、機械零部件、醫療器械、軍工航天航空
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詳細介紹


   可研磨的PTFE/PFA半導體涂層是一種高性能復合涂層,結合了PTFE(聚四氟乙烯)和PFA(全氟烷氧基化合物)的優點。這種涂層不僅具有傳統PTFE和PFA涂層的低摩擦、不粘性和耐化學性,還具備在需要時可以通過研磨達到精確形狀和表面光潔度的特性。以下是對可研磨的PTFE/PFA半導體涂層的介紹及其在特定設備和部件中的應用。
 可研磨的PTFE/PFA涂層介紹
1. 材料特性
   可研磨的PTFE/PFA涂層由PTFE和PFA復合而成,具有低摩擦系數、優異的不粘性和高耐化學性。這種復合涂層可以在涂覆后通過研磨處理,達到所需的表面光潔度和精確尺寸。
2. 涂層工藝
   涂層通常通過噴涂、電泳或浸涂等方法進行涂覆,之后在高溫下固化。固化后的涂層可以通過機械研磨或拋光處理,確保其表面光滑且符合高精度要求。
3. 耐高溫性能
   PTFE/PFA涂層在高溫環境下保持穩定,能夠承受半導體制造過程中常見的高溫工藝步驟而不發生降解。
 應用設備及其部件
4.CMP(化學機械平坦化)設備
   CMP設備用于半導體晶圓的平坦化工藝,要求設備部件具有極高的表面光潔度和耐磨性?裳心サ腜TFE/PFA涂層可用于CMP設備中的拋光墊、拋光頭和支撐環等部件。這些部件需要耐化學腐蝕、低摩擦和高耐磨性,以確保在長時間運行中保持穩定和高效。
5. 閥門和密封件
   半導體制造過程涉及多種腐蝕性化學品,閥門和密封件需要高耐化學性和低摩擦特性?裳心サ腜TFE/PFA涂層可應用于各種閥門、密封圈和墊片,提供優異的密封性能和耐久性,防止泄漏和磨損,確保設備長期穩定運行。
【PTFE特氟龍,哈拉halar,PFA氟樹脂涂層加工,可研磨的PFA涂層,半導體PFA涂層在CMP設備、閥門、密封件、檢測儀器,氣浮盤,chuck卡盤,CMP鋁材研磨盤HALAR,PFA涂層加工,200um涂層厚度,平面精度可控在2um±公差以內,等應用防腐耐酸,耐磨,防等離子氣,防金屬離子析出,經過特殊的工藝處理,在惡劣的環境下使用,可延長使用壽命,涂層不脫層,不起皮,可耐50%的濃酸】
涂層參數
厚度:100-300um
顏色:灰,黑,白
附著力:>8Mpa
涂層硬度:3H

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