QFL-XY系列雙軸氣浮運動臺-中國PLC網

QFL-XY系列雙軸氣浮運動臺

產品特點

l ? 開式氣浮疊層結構 ? 結構緊湊、精度高

l ? 重復定位精度±50nm ? 直線度±0.1μm，平面度±0.15μm

? 根據需求可定制 ? 高柔線纜管理

應用領域

QFL-XY系列是一款結構緊湊的雙軸氣浮運動臺，用于飛秒激光加工，超精密加工、測試測量、高精度掃描、半導體及光子學等行業，由于非接觸式運動，精度高和結構緊湊是行業內的理想選擇。

結構特點

雙軸氣浮運動臺采用開式氣浮導軌，直線電機和光柵尺組成，永磁預載結構，XY軸疊層具有體積小，精度高、工作點低等特點，能有效降低阿貝誤差。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩定。非接觸式氣浮結構，免維護運行，隨著時間推移，不會出現磨損或性能下降。

精度性能

QFL-XY軸雙軸氣浮運動臺的定位精度±0.1μm，雙向重復定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，以上為全行程精度指標，由于非接觸式運動結構，氣浮運動臺的跟隨誤差有了質地提升，精度性能得到顯著提高。

線纜管理

使用高質量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產生的擾動力影響可忽略不計，運動中線纜和氣管不影響氣浮運動臺的性能。此外，可提供帶屏蔽高柔線纜，提供系統抗干擾能力。

定制化

根據應用，結構可定制化設計，如增加平升或楔形Z軸，轉臺等。可配置大理石基座、立柱及橫梁，XY軸安裝到大理石基座上，Z軸安裝橋架上�？蛇x配主動隔振系統，適合高抖動的應用領域。

規格指標

注：

以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在負載板上25mm處，測試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法，多軸系統精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如要求非標準測試，請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標，是標準值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細分倍數。