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RBZ-SG系列精密Z軸
RBZ-SG系列精密Z軸 價格:  元(人民幣) 產地:本地
最少起訂量:1 發貨地:本地至全國
上架時間:2024-04-23 15:08:45 瀏覽量:135
北京瑞邦精控科技有限公司  
經營模式: 公司類型:
所屬行業:儀器儀表加工設備 主要客戶:高校,企業,科研單位
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聯系方式

聯系人:王欣悅 (小姐) 手機:18145668702
電話: 傳真:
郵箱:490748999@qq.com 地址:

詳細介紹

產品特點

 

?  垂直平升行程可達50mm,整體尺寸結構緊湊,速度可達20mm/s,最大負載60kg

?  高精度交叉滾柱導軌,無槽無刷力矩電機,低膨脹系數光柵有助實現納米級微動步距

?  高可靠性驅動機構,使用壽命長

 


應用領域

RBZ-SG系列是一款長行程的精密平升Z軸,具有納米級微動步距,高動態性能,結構緊湊,用于晶圓加工及檢測、飛秒激光加工、測試測量、生物工程等高精度行業。

 

結構特點

RBZ-SG系列直驅結構,承載能力大,在一個長行程的移動范圍,保持盡可能低的高度,優化阿貝誤差影響,有助于提高整體精度性能?谷渥兘徊鏉L柱導軌垂直導向,為提升直線度、Pitch Roll Yaw指標提供創新解決方案。

 

直驅結構

力矩電機作為直驅方式,沒有皮帶、齒輪、蝸輪蝸桿和彈性聯軸器中間傳動環節,RBZ-SG平升Z軸直接托舉負載運動,相對側升結構Z軸,無需轉接板,負載重心布置在Z軸中心,有利于運行過程減小俯仰和偏擺的影響。

 

光柵閉環反饋

RBZ-SG平升Z軸為雙閉環反饋,直線光柵和圓光柵相結合的雙反饋方式,直接測量工件移動時的誤差,提高了精度性能。

 

 

 


 

 

規格指標

型號

單位

RBZ-20SG

RBZ-35SG

RBZ-50SG

行程

mm

20

35

50

補償后定位精度 

Plus (1) 

μm

±0.1

±0.15

±0.15

標準值

±1

±1

±1

雙向重復定位精度

Plus (1) 

μm

±0.05

±0.075

±0.075

標準值

±0.5

±0.5

±0.5

直線度 (2)

Plus (1) 

μm

±0.5

±0.5

±0.75

標準值

±3

±4

±5

Pitch Roll (2)

Plus (1) 

arc sec

±2.5

±2.5

±3.5

標準值

±5

±5

±7

Yaw (2)

Plus (1) 

arc sec

±2

±2

±3

標準值

±5

±5

±7

電子分辨率 (3)

nm

0.3 5(選配)

最大速度 (空載) (4)

mm/s

10

10

20

最大負載

kg

20

40

60

注:

以上為單軸精度指標,在潔凈間內測試,溫度20℃±1℃,濕度40%~60%RH,振動等級VC-E,測試點在負載板上25mm

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