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型號

單位

QFHDS-300-300

QFHDS-500-500

QFHDS-800-800

軸系

—

X

Y

X

Y

X

Y

行程

mm

300

300

500

500

800

800

補償后定位精度

Plus ⁽¹⁾ 

μm

±0.1

±0.25

±0.25

標準值

±0.2

±0.5

±0.5

雙向重復定位精度

Plus ⁽¹⁾ 

μm

±0.05

±0.075

±0.1

標準值

±0.1

±0.15

±0.15

直線度 ⁽²⁾

Plus ⁽¹⁾ 

μm

±0.05

±0.1

±0.2

標準值

±0.5

±1

±1

平面度 ⁽²⁾

Plus ⁽¹⁾ 

μm

±0.2

±0.25

±0.3

標準值

±0.5

±1

±1

Pitch Roll Yaw ⁽²⁾

Plus ⁽¹⁾ 

arc sec

±0.5

±1

±1

標準值

±1

±1.5

±1.5

正交性

Plus ⁽¹⁾ 

arc sec

2

標準值

5

電子分辨率 ⁽³⁾ 

nm

0.3 或 5（選配）

最大速度 (空載) ⁽⁴⁾

m/s

1

最大加速度 (空載) ⁽⁴⁾

m/s?

5,（10, 20, 30 定制）

最大負載

kg

50