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臭氧發生器的工作原理主要基于高壓電離和氧分子的再組合過程。

具體來說，臭氧發生器內部通常含有兩個電極，其中一個電極有較高的電壓。當空氣通過這些電極時，空氣中的氧分子（O?）被電離，形成氧離子（O?）和自由電子。這些氧離子很快與自由電子結合，形成氧分子（O?），同時釋放能量。在臭氧發生器的反應室中，氧分子（O?）進一步經歷電離和再組合的過程，從而生成臭氧分子（O?）

此外，還有其他幾種產生臭氧的方法，如電暈放電和電解法。電暈放電臭氧發生器通過干燥的O?或含氧氣體穿過電弧放電區，利用高頻高壓線路產生臭氧。電解式臭氧發生器則運用水電化學氧化法，在含有凝固瑩光陽離子電解質的水中產生臭氧。

總的來說，臭氧發生器的工作原理是利用高壓電力或化學反應，使空氣中的部分氧氣分解后聚合為臭氧，是氧的同素異形轉變的一種過程。