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1.無塵室作業安全規范

1-1.一般清潔區工作條件(廠務機房)

1) .進入工作區前，鞋子必須清理干凈。

2) .最好每天擦拭有類似金屬碎屑等東西的地方。

3) .有規則的存放材料。

4) .禁止于工作區內吸煙、吃東西、喝飲料。

5) .所有工作區必須有垃圾筒，收集廢料等東西。

6) .材料人員進出必須清潔一次。

7) .所有人員及設備每周必須清潔一次。

8) .產生污染的工作必須個隔離。(噴漆、磨砂輪機等)

 

1-2.非常干凈區工作條件(潔凈室地下回風區)

1) .必須換穿專用的鞋子或鞋套。

2) .使用真空吸塵器清除臟東西。

3) .有規則的存放材料。

4) .禁止于工作區內吸煙、吃東西、喝飲料。

5) .所有使用過的材料、殘余剩料等必須每日清除。

6) .所有工作區內必須有密封式垃圾筒，收集廢料等東西。

7) .材料人員進出必須管制。

8) .所有人員及設備每周必須清潔一次。

9) .產生污染的工作必須隔離(如噴漆、磨砂輪機等)。

10).進出工作區內的全部材料必須清理干凈，才可進入。

11).所有工作區必須換穿干凈工作服。

12).工作區的管線設備禁止勾攀、踐踏、吊掛東西。

 

1-3.絕對干凈區工作條件(潔凈室生產區)

1) .必須換穿無塵專用的鞋子或鞋套。

2) .使用中央系統真空或特別過濾裝置的手提真空吸塵器清除作業時產生的金屬等粉屑。

3) .有規則的存放使用材料。

4) .禁止于工作區內吸煙、吃東西、喝飲料。

5) .所有使用過的材料、殘余剩料等必須每日清除。

6) .所工作區內須有密封式垃圾筒，收集廢料東西。

7) .材料人員進出必須管制。

8) .所有工作人員及業主人員每日必須清潔干凈。

9) .產生污染的工作必須于進入無塵室前完成。

10).進入工作區內的全部材料和工具必須用水清洗干凈，才可進入。

11).除入無塵室應換穿無塵依及尼龍手套外，余均應穿著干凈之工作服。

12).禁止木質或瓦愣紙材料所做的紙箱進入無塵室。

13).禁止觸碰任何液體和你不知道的任何器物。

14).含有油品的工具禁止攜入。

 

1-4.清凈室施工安全規則

1) .指定專人辦理安全事宜。

2) .勿雇用童工。

3) .工作區域內禁止抽煙。

4) .必須準備安全眼鏡。

5) .在清潔室須戴安全帽，特別是有震動時。

6) .任何時間內，均不得堵塞通道及出入口。

7) .在工作區域工作，必須保持干凈；如有產生垃圾，必須隨時準備垃圾袋，

于每日收工時攜出清凈室。

8) .如有意外發生，須立刻告知監工。

9) .特殊危險工作區，須有安全圍籬及警告標志。

10).地板開口處，須有安全圍籬及警告標志，以防止人員掉入。

11).須備有滅火器以防火災。

12).滅火器僅可使用泡沫滅火器，不可使用干粉滅火器。

13).工作架在超出地面2M以上時，須使用鷹架，人員須系安全帶(索)。

14).鷹架、樓梯及工具，須保持良好狀況。

15).在超出地面2M以上時，工具須放置工具袋(箱)內。

16).同時有兩組人員在不同高度工作時，須有良好之連系。

17).工作區域內須有良好照明設備。

18).所有使用之電纜及電線，須有良好絕緣。

19).電纜及電線須連結良好，不可以電線直接插入插座。

20).保險絲須確時使用，不可以鋼絲替代。

21).電纜及電線須正確使用，不可過載。

22).如已送電之電力供應盤，須標示警告標志『高壓危險』。

23).所有圓柱型物品須直立，并以鏈條或繩索固定。

24).切勿于地板面滾動圓柱型物品。

25).如須移動圓柱型物品，須使用特殊格架舉。

26).易燃物品如無人照料，不可置放于工作區域內。

27).化學物品如有泄漏，必須馬上處理。

28).易燃物品須放置于有蓋容器內。

29).任何閥、開關插座、電源插座，不可隨意開、關、拔除(機臺管線)。

30).任何配管配線、材料，非經過監工人員同意，不可擅自任意更改。
2.Piping installation管路架設

在無塵室或簡易潔凈室執行高潔凈度配管工作時，必須遵循下列的規定。

2-1.現場工作規定

l  攜入

材料必須置于特定的貯藏間，在工地現場或在材料間要提供暫時性的簡易潔凈室，所有材料要存放整齊。在存放材料時，有電子拋光的管件必須和未經電子拋光的管件分開。在尚未使用管件之前都不要將塑料封套打開直到現埸要使用時方可打開，并且不要將材料直接放在地上。

l  切管

切管時，使用的自動切割機或手動切管器必須是專門為半導體廠工作所設計的。切管器的刀片與管件成垂直方向，當使用自動切割機時，放刀片的深度要能使管壁尚有薄薄的一層未切斷，藉以防止切割時的碎屑進入管內。

l  倒角

原則上，在使用倒角機(TUBE SIZE用)或銼刀(PIPE SIZE用)時，小心地移開切割面。如果切割面歪斜未成垂直，焊口松馳或管子彎曲等狀況發生時，這種管路是不合規定，必須重新切割及配置。當倒角時，在管的另一端必須用高潔凈度的氮氣沖吹(氮氣要經0.02um的過濾器過濾)。

l  N2沖吹

將管內的微粒沖吹出來。

l  工作后的清潔

檢視切割機的潔凈度，保持機具不受油污，如果仍然看得見有油污或切割的碎屑殘余，按照下列的方法清潔之。

 

 

 

用GN2沖吹

使用的N2必須經-80℃或更低的露點，經0.02um的過濾器干燥。

l  預制工作(在簡易潔凈室clean booth)

在現場的焊接工作降至最低量是必需的。配管區必須在有潔凈氣的地方，在工作時維持風扇正常運轉，于早、中、晚用O2查看器檢查O2的濃度。

u  點焊

點焊使用TIG焊接，點焊的點數按照下列規定。

(CAJON的焊機必需保證管子確實牢固，從完成的觀點來看，最好不要使用手動的TIG焊接，因此點焊被省略)。

3/4” 到15A到80A：3~4點。

u  沖吹氣體(Back seal gas)

使用氬氣，露點-80℃或更低，氧含量在0.1ppm以下，微粒(0.1um以上)含量為零。

u  沖吹用管套

連接沖吹氣體管路與架設管路，使用(Back seal jig)

如圖(一)所示

       圖(一)  (參考用)

u  架設程序(圖二)

將工作管路兩端套上管套，連接沖吹氣體及閥

氬氣沖吹(預先沖吹1分鐘以上)

                                 ò    

點    焊

                                 ò

氬氣沖吹

                                 ò

焊接(自動焊接)

                                 ò

氬氣沖吹風(收尾沖吹1分鐘以上)

u  裝封(在Clean booth內進行)

完成焊接之后，在管內充滿Ar氣，而且用無塵的塑料紙在末端包裹兩層。如果末端的閥已經連接好了，把閥也用塑料紙裹起來。