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產品簡介

EPS-1000探針臺
的手動探針臺，有鎖針設計防止回針，臺面快速升降方便晶圓測試，適合科研及微電子器件的失效分析。

詳細介紹

EPS-1000探針臺

的手動探針臺，有鎖針設計防止回針，臺面快速升降方便晶圓測試，適合科研及微電子器件的失效分析。

產品規格：
- 鍍金真空樣品吸盤：4", 6", 8"等；
- 樣品尺寸：5x5mm ~ 4", 6", 8"等；
- 樣品卡盤平整度：10um；
- 探針座精度：0.7um；
- 樣品卡盤旋轉(Phi)：360度；
- 探針臺臺面快速升降；
- 探針鎖位設計，防止回針；
 

產品規格：
- 鍍金真空樣品吸盤：4", 6", 8"等；
- 樣品尺寸：5x5mm ~ 4", 6", 8"等；
- 樣品卡盤平整度：10um；
- 探針座精度：0.7um；
- 樣品卡盤旋轉(Phi)：360度；
- 探針臺臺面快速升降；
- 探針鎖位設計，防止回針；
 
可選附件：
- 顯微鏡X/Y移動；
- CCD視頻鏡頭；
- 加熱臺；
- 黑箱、屏蔽箱；
- 防振平臺；
- 高倍顯微鏡 (2000X)；
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