| 產品參數 | | 品牌 | 瑞澤 | | 是否支持加工定制 | 是 | | 操作壓強 | 0.8MpaPa | | 處理能力 | 0-2000Nm3/h | | 工作壓力 | 0.2-1.6MPa可調，也可定制15-20MPaMPa | | 規格 | 1200*1200*1880mm | | 過濾精度 | 0.01um | | 提取氣體狀態 | 氣態 | | 效果 | 純度≥99.9999 | | 性能 | 優 | | 應用領域 | 氬氣純化設備用于高純氣體充裝站、焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣。 | | 重量 | 600kg | | 自動化程度 | 全自動 | | 加工定制 | 是 | | 處理氣量 | 5~2000 Nm3/h(可根據用戶需要訂做非標設備) | | 原料氣要求 | 液氬或者較好的管道氬均可使用 | | 凈化效能 | 99.9996 | | 露點 (H2O) | ≤-80℃ | | 氧含量 | ≤0.5ppm | | 氫含量 | ≤0.1ppm | | 氮含量 | ≤0.1ppm | | 二氧化碳 | ≤0.1ppm | | 烴類 | ≤0.1ppm | | 可售賣地 | 全國 | | 用途 | 氬氣提純 | | 材質 | 316L | | 型號 | RZ-YA-D | | 
氬氣凈化設備
設備特點：
1、凈化劑其特點有吸附深度好，吸收雜質氣體量大的特點，純度可達99.9999以上;
2、凈化器采用特殊結構和裝料方法，流速設計合理，氣流分布均勻;
3、全BA級內外精拉管管路。采用進口卡套式球閥。杜絕了氣體流經管路的再次污染。
4、雙式結構,開機后一組工作，另一組再生、備用,而且RZ-YA-C系列半自動純化裝置工作和再生都自動進行,故能夠連續供氣,一臺能頂單式的兩臺使用。
5、本公司生產的RZ-YA-D系列全自動氬氣純化裝置功能說明：
A、具有全自動功能,使用操作簡單，開、停機只需按兩個按鈕，不需扭動任何閥門，這些工作都由PLC程序自動進行；這還克服了手動和半自動機型因人為操作失誤引起的氣體不純，因此純氣質量也更加穩定。
B、控制文本顯示器采用合資品牌-昆侖通泰7吋液晶觸摸屏，實時模擬顯示工作流程狀態和各種參數顯示，并隨時可以實現各參數的修正，極大的方便工作人員的操作。
C、可根據用戶需要配備在線分析儀，時時在線監測。
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