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????Aerotech?ANT-95系列氣浮軸承直驅直線運動平臺，擁有超 的定位功能，精度在0.2~0.5um之間。

ant95系列定位平臺優點：

?幾何性能 的氣浮導軌

?1.2?m?x?1.2?m?的行程

?光柵尺或激光回饋干涉儀

??分辨率1nm

??重復定位精度50nm

?亞微米定位精度

?XY?和?XYZ?集成系統

?無槽直接驅動電動機

同時我們還提供其他型號的納米級直線、旋轉高 運動平臺，比如?pro系列，ABL系列等等。

型號包括：

ANT95-50-10-NC-LT05AS-SINGLE-C50S

ANT95-50-10-NC-LT05AS-SINGLE-C50S

ANT95-50-10-NC-LT06AS-SINGLE-C50S

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