6N氬氣提純設備多晶硅氬氣純化設備單晶硅氬氣凈化裝置-中國PLC網

6N氬氣提純設備多晶硅氬氣純化設備單晶硅氬氣凈化裝置

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氬氣凈化設備

一、關于氬氣純化的方法：

第一種

????直接脫氧法。就是使用活性金屬、催化劑與氬氣中的氧氣進行反應，消化掉氬氣中的氧氣，從而達到脫氧的目的，經過分子篩吸收掉氬氣中的水份，使氬氣的含水量小于1ppm。

第二種

????是采用吸氣劑。在一定溫度下，吸氣劑可吸收氮、氫、氧、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等氣體經吸收處理后，氬氣的純度可達到6個九，這種工藝生產出來的高純氣體適用于各類儀器儀表適用要求。

????第一種方法設備投資小，第二種方法設備純化純度高但投資相對較大。

二、技術參數：

??1、處理氣量：?5~1500 Nm3/h(可根據用戶需要訂做非標設備)

??2、原料氣要求：?液氬或者較好的管道氬均可使用

??3、工作壓力0.2-1.6MPa可調

??4、(氬氣凈化器)凈化效能：純化后符合并高于GB/T4842-2006的99.9996要求

氣體	純度()	H2(ppm)	O2(ppm)	N(ppm)	CO2(ppm)	CH4(ppm)	露點 (H2O)
精氬	99.9999	≤0.1	≤0.2	≤0.4	≤0.1	≤0.1	≤1

??

三、設備特點：

???1、凈化劑其特點有吸附深度好，吸收雜質氣體量大的特點，純度可達99.9999以上;

???2、凈化器采用特殊結構和裝料方法，流速設計合理，氣流分布均勻;

???3、全BA級內外精拉管管路。采用進口卡套式球閥,杜絕了氣體流經管路的再次污染。

???4、雙式結構,開機后一組工作，另一組再生、備用,而且RZ-YA-C系列半自動純化裝置工作和再生都自動進行,故能夠連續供氣,一臺能頂單式的兩臺使用。

???5、本公司生產的RZ-YA-D系列全自動氬氣純化裝置功能說明：

??????A、具有全自動功能,使用操作很簡單，開、停機只需按兩個按鈕，不需扭動任何閥門，這些工作都由PLC程序自動進行；這還克服了手動和半自動機型因人為操作失誤引起的氣體不純，因此純氣質量也更加穩定。

??????B、控制文本顯示器采用合資品牌-昆侖通泰7寸液晶觸摸屏，實時模擬顯示工作流程狀態和各種參數顯示，并隨時可以實現各參數的修正，極大的方便工作人員的操作。

??????C、可根據用戶需要配備在線分析儀，時時在線監測。

四、應用領域：

????該系列氬氣純化裝置用于高純氣體充裝站、焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣。

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