氧化鋯氧含量分析儀氧量指示偏低有以下幾點原因：
1：樣氣中可能存在可燃氣體。氧化鋯固體電解質工作在高溫下，如果樣氣中存在碳氫化合物等可燃氣體，將發生燃燒反應而耗氧，導致二次表氧含量顯示偏低。這種情況下，不可選用氧化鋯分析儀，否則測量誤差大，還有燃燒爆炸的危險。
解決方案：可采取抽樣檢查樣氣，如果樣氣中的確有可燃氣體存在，則應調整工況除去可燃氣體，或者在樣氣中加裝凈化器除去可燃氣體份，或者前端采用預處理措施降低煙氣溫度，選用電化學氧分析儀來分析。
2：探頭過濾器堵塞、氣體阻值變大，氧氣不流動。
解決方案：可采用反向吹掃、清理過濾器，如果不能疏通，則需要更換過濾器。
3：煙氣溫度過高或者過低。
解決方案：檢查校正煙氣溫度。
4：量程電勢偏高。
解決方案：可利用給定電勢差來校正量程電勢。
這幾種方法只是故障可能性中的一些情況，具體在實際操作中應根據不同的原因和方法來處理故障。